Japonsko vyvinulo novú technológiu na vykurovanie substrátov plochých doštičiek, ktorá je lepšia ako tradičné mletie a leštenie metód

Podľa správy na čínskej webovej stránke Nikkei, výskumný tím vedený profesorom Seimatsu visí z Waseda University v Japonsku, vyvinul metódu na vyrovnanie povrchu substrátov polovodičových doštičiek vykurovaním, ktoré je pohodlnejšie a vysoko výkonné ako tradičné mleté ​​metódy.a je prospešné pre zlepšenie procesov výroby polovodičov.

Výskumný tím uskutočnil experimenty s použitím substrátov z karbidu kremíka.Vzhľadom na to, že doštičky sa vyrábajú rozrezaním celého kryštálového bloku na tenké plátky, prierez je náchylný k nerovnomernosti a nedá sa priamo použiť.Tradičnou metódou je kombinovať viacero metód leštiaceho a mletia, ale to môže viesť k vnútornému poškodeniu a tvorbe povrchových kvapiek.

Tím bude zahrievať mechanicky mletý substrát karbidu kremíka pod ochranou Argon a vodíka na 10 minút až 1600 stupňov Celzia a potom ho udržiava na dobu 1400 stupňov Celzia.V tomto bode povrch dosiahne atómovú úroveň rovinnosti.Vďaka svojej jednoduchej metóde prevádzky, ktorá vyžaduje iba kúrenie, v porovnaní s tradičným viacnásobným leštením je prospešné pre skrátenie hodín výroby a zníženie nákladov.

Okrem spracovateľského výkonového polovodičového materiálu kremíkového karbidu kremíka sa môže táto technológia použiť aj na spracovanie iných materiálov s podobnými mriežkovými štruktúrami, ako sú oblátky nitridu gália a arzenid gália.